4-Kreis-Diffraktometer 424-512.51
Die Einsatzmöglichkeiten dieses 4-Kreis-Diffraktometers, bestehend aus den Komponenten 424 und 512.51, reichen von Eigenspannungs-und Texturmessung bis hin zu Dünnschichtanalysen und Waferuntersuchungen.
Der Phi-Kreis beinhaltet eine XYZ-Verstellung (150mm x 150mm x 25mm).
Die Bestromung erfolgt über Schleifringe.
Spezifikationen Phi-/Chi-Kreis:
Phi-Kreis | Chi-Kreis | |
Verfahrbereich [°]: | 360 | 360 |
Auflösung [°]: | 0,001* / 0,002* ** | 0,001* |
Genauigkeit ['']: | 30 | 30 |
WDH (unidir.)['']: | <= 2 | <= 3 |
Umkehrfehler ['']: | <= 10 | <= 15 |
Übersetzung: | 360:1 / 180:1** | 360:1 |
* in Verbindung mit Schrittmotor, 1000 Schr./U.
** Goniometer 410A
Spezifikationen 2-Theta/Omega:
2-Theta | Omega | |
Auflösung [°]: | 0,001* | 0,001* |
Genauigkeit ['']: | <= 30 | <= 30 |
WDH (unidir.)['']: | <= 2 | <= 2 |
Umkehrfehler ['']: | <= 7 | <= 7 |
Übersetzung: | 360:1 | 360:1 |
Exzentrizität [µm]: | <= 3 | <= 3 |
Taumelfehler ['']: | <= 4 | <= 4 |
* in Verbindung mit Schrittmotor, 1000 Schr./U.
Spezifikationen X/Y:
X | Y | |
Auflösung [mm]: | 0,002* | 0,002* |
Genauigkeit [µm]: | +/- 50 | +/- 50 |
WDH (unidir.)[µm]: | +/- 5 | +/- 5 |
Umkehrfehler [µm]: | 5 | 5 |
Spindelsteigung [mm/U]: | 2 | 2 |
* in Verbindung mit Schrittmotor, 1000 Schr./U.
Spezifikationen System:
Fehlerkugel [mm]: | <= 0,03 |
Gewicht [kg]: | 120 |
Zubehör:
Kollimator-Arm Kollimatorträger: | 8692 |
Detektor: | optional |
Blendensystem: | Serie 3000 |
Steuerung: | 9300 |
CCD-Kamera: | MiniVID |
Motoren: | 2-/3/-5-Ph. |
Endschalter: | inklusive |
Nullpunktkontrolle: | 9100 inklusive |
Encoder: | inkremental |
absolut | |
Getriebe (Phi, Omega, 2-Theta): | 2056.05 |
2056.10 | |
2056.20 | |
Getriebe (Chi): | 2083.05 |
2083.10 | |
2083.20 |