Blendenmodule 3100.20
- Grundlage: vertikale oder horizontale asymmetrische Blendenpaare
- Blendenmaterial: 2mm Wolfram (andere Materialien auf Anfrage)
- Auflösung: 0,884μm bei 400 Schr./U.
- Bereich: +/- 3mm
- Wiederholgenauigkeit: < 0,5μm (typischer Wert: < 0,2μm)
- Spiel: < 3μm
- Antrieb: Schrittmotorensteuerung
- Endschalter
- Dimension (in Strahlrichtung): 46mm
- Encoder optional
- Atmosphäre: He oder Vakuum (zusätzliche Fenster erforderlich)
- erhältliche Blendenmodule:
- 3100.20 horizontal
- 3100.21 vertikal