2D Beam Position and Intensity Monitor 3100.10
- Grundlage: 2D Teilionisationskammer
- Auflösung: < 2μm (typischer Wert: 0,8μm*)
- eingabaute Kalibrierfunktion
- Spannung: 1400V
- Verstärker: Differentialverstärker, Strahlprozessor
- Atmosphäre: N2 (0.6 - 1.4) bar
- Anode/Kathode: Au (30x30)mm
- Elektroden Gap: 10mm (andere auf Anfrage)
- Range: vertikal 6mm, horizontal 10mm (jeweils +/- 4mm verstellbar)
- grobe Motoreinstellung:
- Auflösung: 0,884μm bei 400 Schr./U.
- Bereich: +/- 4mm
- Antrieb: Schrittmotorensteuerung
- Endschalter
- Encoder optional
- Fenster: Beryllium, Kapton oder Fensterlos
- Dimensionen (in Strahlrichtung): 93mm + 20mm für Abdeckplatte, Flansch und Eintrittsfenster
* abhängig von Kalibrierung am Standort